ACCRETECH UF2000

Измерительная установка – зондовая станция:

Электрические измерения в полупроводниковой промышленности
Пластины от 5″ до 8″
Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
Функция проверки и автоматического выравнивания иглы
Общая точность ±1.5 мкм
Зона измерений по X-Y осям ± 120мм. Зона измерений по оси Z: 47мм
X ось 250мм/сек, Y ось 200мм/сек, Z ось 30мм/сек
Диапазон вращения по оси θ составляет ±5°
Hard Disk 20GB, Дисплей 12,1″, Принтер, Джойстик, Датчик перемещения
Напряжение 100В, 50/60Гц. Максимальная нагрузка 1,3 кВА
Сжатый воздух до 0,45МПа, расход 0,1 л/пластина
Вакуум -53кПа, расход 30 л/мин
Габариты 1142 (Ш) х 1229 (Д) × 933 (H) мм.
Вес 800кг

Обратная связь